Zn VA S KIRISHMA ATOMLARINI KREMNIYGA LEGIRLASHNING DIFFUZIYA USULINING MATEMATIK MODELI

Авторы

  • Haqqulov M.K.

    Tashkent State Technical University named after Islam Karimov image/svg+xml

  • Isakov B.O.

    Tashkent State Technical University named after Islam Karimov image/svg+xml

  • Shakarov F.Q.

    Tashkent State Technical University named after Islam Karimov image/svg+xml

  • Mahmudov S.Y.

    Tashkent State Technical University named after Islam Karimov image/svg+xml

  • Sodiqova F.O.

    Tashkent State Technical University named after Islam Karimov image/svg+xml

Ключевые слова: кремний, сера, цинк, диффузия, модель

Аннотация

Работа посвящена математическому моделированию метода диффузии примесей Zn и S, легированных в кремний. В работе разработана модель трех различных механизмов диффузии, а результаты расчетов показали, что при формировании бинарных нанокластеров ZnS в кремнии предпочтительнее диффузия сначала Zn, а затем легирующих примесей S.

Библиографические ссылки

1. McCloy J., Tustison R. Chemical vapor deposited zinc sulfide. // SPIE The International Society for Optical Engineering. 2013. – P. 1-9.

2. Onwudiwe D.C., Adeyemi J.O., Papane R.T., Bobinihi F.F., Hosten E. Synthesis, optical and structural characterisation of ZnS nanoparticles derived from Zn(II) dithiocarbamate complexes // Open Chemistry. 2021. Vol. 19. -P. 1134-1147.

3. Iliev Kh.M., Koveshnikov S.V., Isakov B.O., Kosbergenovb E.Zh., Kushiev G.A., Khudoynazarov Z.B. The Elemental Composition Investigation of Silicon Doped with Gallium and Antimony Atoms // Surface Engineering and Applied Electrochemistry. 2024. Vol. 60, №. 4. – P. 633–639.

4. Iliev Kh.M., Zikrillaev N.F., Ayupov K.S., Isakov B.O., Abdurakhmanov B.A., Umarkhodjaeva Z.N., Isamiddinova L.I. Effect of GaSb Compound on Silicon Bandgap Energy. // Journal of Nano- and Electronic Physics. 2024. Vol. 16, № 2. - P. 1-4.

5. Iliyev X.M., Isamov S.B., Isakov B.O., Qurbonova U.X., Abduraxmonov S.A. A surface study of Si doped simultaneously with Ga and Sb. // East European Journal of Physics. 2023. № 3. – P. 303-307.