МОДЕЛИРОВАНИЕ И АНАЛИЗ ТЕПЛОВЫХ ПРОЦЕССОВ В КРЕМНИЕВЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУРАХ ПРИ БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКЕ - Асанов, Д.Ж. (FAN va JAMIYAT, 2026)
В статье проведено моделирование и экспериментальное исследование тепловых процессов в кремниевых гетероструктурах Ni (5 ат. % Pt)/Si при импульсной фотонной обработке. Рассмотрены режимы адиабатического нагрева, теплового потока и теплового баланса. На основе анализа температурных зависимостей установлено, что при плотности энергии 255 Дж/см2 и длительности 1,8 с реализуется режим теплового баланса, обеспечивающий равномерный нагрев и образование фазы Ni2Si. Показано, что легирование Ni платиной повышает стабильность силицидного слоя и снижает деформацию подложки.