ФОРМИРОВАНИЕ ПЛЕНОК ДИСИЛИЦИДА ТИТАНА В МОДИФИКАЦИИ С49 НА КРЕМНИИ, СТРУКТУРА, СВОЙСТВА - Асанов, Д.Ж.; Маркевич, М.И.; Камалов, А.Б. (FAN va JAMIYAT, 2023)
Наиболее распространенными способами проведения твердофазных реакций формирования силицидов переходных металлов является быстрая термическая обработка (БТО) различными энергетическими источниками. Данные методы отличаются высокой производительностью, технологичностью и воспроизводимостью результатов. Малое время процесса сводит к минимуму влияние окружающей среды на образование силицидов, а так же минимизирует влияние на уже сформированные элементы активной структуры