Сверхвысокочастотная обработка карбидкремниевых диодов Шоттки Au-TiB -n-SiC 6H

Mualliflar

  • А.Б Камалов

    Nukus State Pedagogical Institute named after Ajiniyaz image/svg+xml

  • С.К Абдижалиев

    Nukus State Pedagogical Institute named after Ajiniyaz image/svg+xml

  • Д Абдуллаева

    Karakalpak State University image/svg+xml

Kalit so‘zlar: silicon carbide, Schottky barrier, barrier height, factor nonideality

Annotatsiya

In this article were presented results of investigations of high frequency influence treatment on electrophysical proper- ties of diode structures with Schottky barrier based on silicon carbide.

Foydalanilgan adabiyotlar

1. Строкан Н.Б., Иванов А.М., Бойко М.Е., Савкина Н.С., Стрельчук А.М., Лебедев А.А., Якимова Р. Карбидкремниевые транзисторные структуры как детекторы слабоионизирующего излучения. //ФТП, 2003, том 37, вып.1, -С. 65-69.

2. Вавилов В.С., Горин Б.М., Данилин Н.С., Кив А.Е., Нуров Ю.А., Шаховцев В.И. Радиационные методы в твердотельной электронике. -М.: «Радио и связь», 1990, -С. 184.

3. Мамонтов А.П., Чернов И.И. Эффект малых доз ионизирующего излучения. –М.: Энергоатомиздат, 2001, -С.250.

4. Абдурахимов Д.Е., Вахидов Ф.Ш., Верещагин В.Л., Калинушкин В.П., Плоппа М.Г., Райзер М.Д.. Изменение свойств по- лупроводниковых материалов в результате воздействия СВЧ импульсов наносекундной и микросекундной длительности. // Микроэлектроника, 1991, том 20, вып.1, -С.21-25

5. Агеев О.А., Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Конакова Р.В., Миленин В.В., Пилипенко В.А. Фазы внедрения в технологии по- лупроводниковых приборов и СБИС. Харьков: НТК «Институт монокристаллов», 2008, –С. 392.