ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ КОНЦЕНТРАЦИИ ГАЛЛИЯ И СУРЬМЫ ЭЛЕМЕНТОВ ЛЕГИРОВАННОГО, ДИФФУЗИОННЫМ СПОСОБОМ В КРЕМНИИ

Mualliflar

  • Исаков Б.О.

    Tashkent State Technical University named after Islam Karimov image/svg+xml

Kalit so‘zlar: кремний, галлий, сурьма, концентрация, диффузия, диффузия коэффиценти

Annotatsiya

В данной работе с помощью программы MathCad теоретически исследована математическая модель распределения концентраций элементов галлия и сурьмы легированных диффузией в кремний. Суть теоретических расчетов и математического моделирования процесса диффузии состоит в том, чтобы не проводить эксперименты впустую, заранее определить глубину проникновения примесных атомов в кремний до осуществления диффузии и спланировать эксперименты и повышение достоверности результатов.

Foydalanilgan adabiyotlar

1. Ahmad Mostafa, Mamoun Medraj. Jurnal Materials 2017, 10, 676; doi:10.3390/ma10060676./ Basel, Switzerland/Impact Factor 3.623 (2020)

2. Бахадырханов М.К., Исамов С.Б. Журнал технической физики. 2021, том 91, вып. 11/DOI: 10.21883/JTF.2021.11.51528.60-21/Санкт-Петербург, Россия ФТИ им. А.Ф.Иоффе

3. Bakhadyrkhanov M.K., Ayupov K.S., Mavlyanov G.Kh., Isamov S.B. Semiconductors, 44 (9), 1145 (2010). Главный редактор Роберт А. Сурис. Иоффе, Санкт-Петербург, Россия.

4. Shaghayegh Esfahani. Materials Science and Engineering University of Toronto. Solvent Refining of Metallurgical Grade Silicon Using Iron 2010/ Copyright by Shaghayegh Esfahani 2010/Shaghayegh Esfahani Master of Applied Science Materials Science and Engineering University of Toronto 2010/All content following this page was uploaded by Shaghayegh (Sherry) Esfahani on 04 June Toronto, Canada: 2015,

5. Bakhadyrhanov M.K., Sodikov U.X., Iliev Kh.M., Tachilin S.A. Tuerdi Wumaier. Materials Physics and Chemistry, 1, 89 (2019)/The International Journal of the Materials Research Society-Taiwan (MRS-T). The Impact Factor of this journal is 4.094.