KREMNIYGA FOSFOR VA BOR ATOMLARINING KETMA-KET DIFFUZIYASI

Mualliflar

  • G‘.X.Mavlonov

    A.A.Usmonov - tayanch doktorant

  • Isamov S.B.

    A.A.Usmonov - tayanch doktorant

  • Kenjayev Z.T.

    Toshkent davlat texnika universiteti

Kalit so‘zlar: kremniy, fosfor, bor, diffuziya, legirlash, elektron, kovak

Annotatsiya

Bu ishda kremniyga alohida bor, fosfor, ketma-ket bor va fosfor diffuziya qilingan 3 guruh namunalar o‘rganildi. Buni o‘rganishdan maqsad kremniyga ketma-ket diffuziya qilingan bor va fosforning o‘zaro ta’siri va taqsimotini o‘rganish. Natijada katta konsentratsiyada fosfor kiritilgan kremniyga borning diffuziyasi vaqtida elektroaktiv bor atomlari 2,5-3 marta ko‘p fosfor atomlarini kompensatsiya qilib material o‘tkazuvchanlik turini o‘zgartirishi aniqlandi.

Foydalanilgan adabiyotlar

1. Бахадырханов М. К., Исамов С. Б. Журнал технической физики. 2021, том 91, вып. 11.

2. Bakhadyrkhanov M.K., Ayupov K.S., Mavlyanov G.Kh., Isamov S.B. Semiconductors, 44 (9), 1145 2010.

3. Бахадирханов М.К., Абдурахманов Б.А., Зикриллаев Х.Ф. Приборы. 5 (215), 39 (2018).

4. Bakhadyrhanov M.K., Sodikov U.X., Iliev Kh.M., Tachilin S.A., Tuerdi Wumaier. Materials Physics and Chemistry, 1, 89. 2019.

5. Эмсли Дж. Элементы: Пер. с англ. Мир, -С.256. 1993.

6. Тишковский Е.Г., Ободников В.И., Таскин А.А., Феклистов К.В., Серяпин В.Г. ФТП, 34 (6), 655 2000.