ФОРМИРОВАНИЕ ПЛЕНОК ДИСИЛИЦИДА ТИТАНА В МОДИФИКАЦИИ С49 НА КРЕМНИИ, СТРУКТУРА, СВОЙСТВА - Асанов, Д.Ж.; Маркевич, М.И.; Камалов, А.Б. (SCIENCE and SOCIETY, 2023)
Ўтиш металл силитсидларини ҳосил қилиш учун қаттиқ фазали реактсияларни ўтказишнинг энг кенг тарқалган усуллари турли энергия манбаларидан фойдаланган ҳолда тез иссиқлик билан ишлов беришдир (ТИБ). Ушбу усуллар юқори маҳсулдорлик, ишлаб чиқариш ва натижаларнинг такрорланиши билан тавсифланади. Қисқа жараён вақти атроф-муҳитнинг силитсидлар ҳосил бўлишига таъсирини камайтиради, шунингдек, ИМC фаол тузилишининг аллақачон шаклланган элементларига таъсирини камайтиради. Гетеротизимнинг ишлов бериш ҳароратининг ошиши билан ўзгартирилган сиртнинг акс эттириш қобилияти ошиши аниқланди.
Keywords: тез иссиқлик билан ишлов бериш (ТИВ); ИК диапазони; С49 модификацияси; титан силициди; фазага ўтиш