ИЗМЕНЕНИЕ РЕЛАКСАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ АТОМА ЭРБИЯ - Шарибаев, М.Б.; Каландарова, Ш.К. (SCIENCE and SOCIETY, 2025)
Мақолада икки хил ўсиш режимидан фойдаланган ҳолда эрбий билан қўшилган кремнийнинг эпитаксиал қатламларини ўстириш натижалари келтирилган: анъанавий молекуляр нур эпитаксиси (МНЭ) ва қаттиқ фаза эпитаксиси (КТЭ). Эрбий қўшилган кремний қатлами КТЭ томонидан совуқ субстратга ётқизилганида ва тавлангандан сўнг, 1,54 мкм тўлқин узунлигида кучлироқ фотолуминесанс тасмаси намоён бўлиши кўрсатилган.