DEVELOPMENT OF NANOMATERIALS TO INCREASE THE PERFORMANCE OF SILICON ELECTRONICS - Asanov, D.J.; Ashirbekova, S.U. (SCIENCE and SOCIETY, 2024)
Yuqori samarali va tezkor yarimo’tkazgich komponentlarini, shuningdek o’ta katta integral mikrosxemalarni (VLSI) ishlab chiqish ishlab chiqarish jarayonlarida yangi materiallardan foydalanishni talab qiladi. Zamonaviy mikroelektronika uchun eng istiqbolli materiallardan biri metall silikidlardir. Ushbu birikmalar qattiq elektronikada, xususan, to’g’rilash va omik kontaktlarni, shuningdek integral mikrosxemalarda o’tkazuvchi elementlarni yaratish uchun keng qo’llanilgan. Bundan tashqari, magnezium silitsid monokristallari mukammal termal samaradorlik ko’rsatkichlarini namoyish etadi, bu esa magniy va kremniyni yuqori termal samaradorlikka ega Mg₂Si kabi yupqa plyonkali yarimo’tkazgichli birikmalarni yaratish uchun jozibali materiallarga aylantiradi.