ИЗМЕНЕНИЕ РЕЛАКСАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ АТОМА ЭРБИЯ
Mualliflar
Калит сўзлар: эпитаксиал пленкалар, легирлаш, фотолюминесценция, интенсивлик
Аннотация
Мақолада икки хил ўсиш режимидан фойдаланган ҳолда эрбий билан қўшилган кремнийнинг эпитаксиал қатламларини ўстириш натижалари келтирилган: анъанавий молекуляр нур эпитаксиси (МНЭ) ва қаттиқ фаза эпитаксиси (КТЭ). Эрбий қўшилган кремний қатлами КТЭ томонидан совуқ субстратга ётқизилганида ва тавлангандан сўнг, 1,54 мкм тўлқин узунлигида кучлироқ фотолуминесанс тасмаси намоён бўлиши кўрсатилган.
Фойдаланилган адабиётлар
1. Н.А. Соболев. ФТП29, 1153 (1995).
2. A.Polman.J.Appl.Phys.82,1(1997).
3. Y.Ho Xie, E.A. Fitzgerald, Y.J. Mii. J. Appl. Phys.70, 1153 (1991).
4. H. Efeoglu, J.H. Evans, T.E. Jackmann et al. Semicond. Sci. Technol.8, 236 (1993).
5. R. Serna, M. Lohmeier et al. Appl. Phys. Lett.66, 1385 (1995).
6. V.G. Zavodiskii, A.V. Zotov. Phys. Stat. Sol.(a). 72, 391 (1982).
7. С.П. Светлов, В.Ю. Чалков, В.Г. Шенгуров. ПТЭ4, 141 (2000).
8. H. Przybylinska et al. Phys. Rev. B54, 2532 (2017).
9. I.G. Kaverina, V.V. Korobtsov, V.G. Lifshits. Thin Sold Films 177, 101 (2020).
10. C.W. Nogee, J.C. Bean, C. Foti, J.M. Poate. Thin Sold Films 81,1(2021).