KISLORODLI MONOKRISTALLI KREMNIYNI RENTGENOSTRUKTURAVIY OʻRGANISH

Mualliflar

  • Maxmudov Sh.A.

    Oʻzbekiston Respublikasi Fanlar akademiyasi Yadro fizikasi instituti

  • Jurayeva M.F.

    Oʻzbekiston Respublikasi Fanlar akademiyasi Yadro fizikasi instituti

  • Jalelov M.A.

    AJINIYOZ NOMIDAGI NUKUS DAVLAT PEDAGOGIKA INSTITUTI image/svg+xml

  • Odilova N.J.

    Qarshi Davlat Universiteti image/svg+xml

Калит сўзлар: monokristall, kremniy, mikronuqsonlar, kislorod konsentratsiyasi, rentgenografiya, bir xilmaslik

Аннотация

Maqolada mukammal tuzilishga ega boʻlgan panjara parametrlari 0,54292 nm boʻlgan monokristalli kremniy va oʻlchami 94 nm boʻlgan subkristallitlar oʻrganilgan va Czochralski usuli bilan oʻstirilgan kremniyda kislorod ishtirokidan iborat kichik oʻlchamli nuqsonlar hosil boʻlishi aniqlangan.

Фойдаланилган адабиётлар

1. Рейви К. Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии. // Под ред. С. Н. Горина, пер. с англ. –М.: «Мир», 1984. – С. 475.

2. Ташметов М.Ю., Каланов М., Махкамов Ш., Умарова Ф.Т., Саттиев А.Р., Эрдонов М.Н., Холмедов Х.М. Медь кислородные нанокристаллиты в монокристаллах кремния, легированных медью // Узбекский физический журнал. –Ташкент: 2018, Т.20, №2, -С. 90-97.

3. Newman R.S., Binns M.J., Brown W.P., Livingston F.M., Messoloras S., Stewart R.J., Wilkes J.G. Precipitation of Oxygen in Silicon: Kinetics, Solubility, Diffusivity and Particle Size // Physica B. 1983. Vol.116, №1-3. -P. 264 -270.

4. Таиров Ю.М., Цветнов В.Ф. Технология полупроводникавых и диэлектрических материалов. «Высшая школа», 1990. –С.423.

5. Горелик C.C., Расторгуев Л.Н., Скаков Ю.А. Рентгенографический и электронноптический анализ. // Практическое руководство по рентгенографии, электронографии и электронной микроскопии металлов, полупроводников и диэлектриков. –Москва: “Металлургия”. 1970. 2-еизд., -С.366.

6. Бабич В.М., Блецкан Н.И., Венгер Е.Ф. Кислород в монокристаллах кремния. –Киев: Interpres LTD, 1997. –С. 240.