ВЛИЯНИЕ ЛЕГИРОВАНИЯ НИКЕЛЕМ И МАРГАНЦЕМ НА КОНЦЕНТРАЦИЮ КИСЛОРОДА В КРЕМНИИ

Mualliflar

  • Илиев Х.М.

    Islom Karimov nomidagi Toshkent davlat texnika universiteti image/svg+xml

  • Турсунов М.О.

    Термезский государственный университет

  • Исамов С.Б.

    Islom Karimov nomidagi Toshkent davlat texnika universiteti image/svg+xml

  • Ковешников С.В.

    Islom Karimov nomidagi Toshkent davlat texnika universiteti image/svg+xml

Калит сўзлар: монокристалл, кремний, диффузия, никель, марагнец, Фурье-спектромерт

Аннотация

Бинар нанокомплексларни ўз ичига олган кремнийнинг электр хоссалари анъанавий ярим ўтказгичлардан, шу жумладан турли хил киришма атомлари билан легирланган кремнийдан оптик ва электр хусусиятлари билан фарқ қилиши кўрсатилди. Юқори ҳароратларда марганетс ва никел киритилганда кремний ҳосил қилувчи нанокомплекслар оптик фаол кислородга таъсир қилиши ҳақида келтериб ўтилган. Олинган натижалар шуни кўрсатадики, марганетс ва никел легирланган намуналарда оптик фаол кислород контсентратсиясининг камайишига олиб келади.

Фойдаланилган адабиётлар

1. Мильвидский М.Г., Чалдышев В.В., Наноразмерные атомные кластеры в полупроводниках – новый к формированию свойств материалов. Обзор // Физика и техника полупроводников. -Россия, 1998. Т.32. Вып 5. -С. 513-522.

2. Bakhadyrkhanov M.K., Mavlonov G.Kh., Isamov S.B., Iliev Kh.M., Ayupov K.S., Saparniyazova Z.M., and Tachilin S.A. Transport Properties of Silicon Doped with Manganese via Low Temperature Diffusion // Inorganic Materials. 2011. Vol. 47, №. 5, -Р. 479-483.

3. Bakhadyrkhanov M.K., Isamov S.B., Zikrillaev N.F., Тursunov M.O. Anomalous Photoelectric Phenomena in Silicon with Nanoclusters of Manganese Atoms // Semiconductors, 2021, Vol. 55, №. 6, -Р. 636–639.

4. Iliev Н.M., Tursunov M.O., Koveshnikov S.V., Z.B. Research of properties of silicon with binary nanoclusters with participation of Mn and Se atoms // Euroasian Journal of Semiconductors Science and Engineering. 2020. Vol. 2, №. 2, -Р. 53-58.

5. Абдурахманов К.П., Витман Р.Ф., Куликов Г.С, Лебедев А.А., Утамурадова Ш.Б., Юсупова Ш.А. Диффузионная профили марганца в кремнии с различным содержанием кислорода. // 1994. T. 28. вып. 1. -C.86-90.

6. Бабич М.Б., Белецкан Н.И., Венгер Е.Ф. Кислород в монокристаллах кремния. // Киев. 1997.

7. Утамуродова Ш.Б., Эргашев Р.М., Матжонов Х.Ж. ИК-спектроскопия кремния, легированного оловам и марганцам. // Физика и полупроводников и микроэлектроника. -Тошкент: 2019. Т. 1. вып. 1. -С. 27-31

8. Kazuhisa Torigoe, Toshiaki Ono. Formation of thermal donor enhanced by oxygen precipitation in silicon crystal // Journal of Applied Physics. 2020. Vol. 10, №. 045019, -Р. 1-5.

9. Bakhadirkhanov M.K., Iliev Kh.M., Tursunov M.O., Isamov S.B., Koveshnikov S.V., Majitov M.Kh. Electrical Properties of Silicon Doped with Manganese via High-Temperature Diffusion // Inorganic Materials. 2021. Vol. 57, №. 7, -Р. 655-662.

10. Ismailov K.А, Iliev X.M, Tursunov M.O, Ismaylov B.K. Formation of complexes consisting of impurity Mn atoms and group VI elements in the crystal lattice of silicon. // Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics. 2021, Vol. 24, №. 3, -P. 255–260.