Шарибаев М, Каландарова Ш. ИЗМЕНЕНИЕ РЕЛАКСАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ АТОМА ЭРБИЯ. SS [Интернет]. 29 март 2025 г. [цитируется по 7 август 2026 г.];(2-1):46-7. доступно на: https://journal.ndpi.uz/ss/article/view/2025-2-1-016