М. Шарибаев и Ш. Каландарова, «ИЗМЕНЕНИЕ РЕЛАКСАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ АТОМА ЭРБИЯ», SS, вып. 2-1, сс. 46–47, мар. 2025, просмотрено: авг. 08, 2026. доступно на: https://journal.ndpi.uz/ss/article/view/2025-2-1-016