D. Asanov и S. Ashirbekova, «DEVELOPMENT OF NANOMATERIALS TO INCREASE THE PERFORMANCE OF SILICON ELECTRONICS», SS, вып. 6-1, сс. 4–6, дек. 2024, просмотрено: авг. 09, 2026. доступно на: https://journal.ndpi.uz/ss/article/view/2024-6-1-002