Шарибаев М, Каландарова Ш. ИЗМЕНЕНИЕ РЕЛАКСАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ АТОМА ЭРБИЯ. SS. 2025;(2-1):46-47. просмотрено август 7, 2026. https://journal.ndpi.uz/ss/article/view/2025-2-1-016