KREMNIYGA FOSFOR VA BOR ATOMLARINING KETMA-KET DIFFUZIYASI - Mavlonov, G‘.X.; Isamov, S.B.; Kenjayev, Z.T. (НАУКА и ОБЩЕСТВО, 2022)
В этой работе исследованы и изучены 3 группы образцов диффузии в кремнии, отдельно фосфор и бор, последовательного диффузии фосфора и бора. Целью данного исследования является изучение взаимодействия и распределения фосфора и бора диффузии с кремнием. В результате было обнаружено, что при диффузии бора в кремний с высокой концентрацией фосфора атомы электроактивного бора компенсируются в 2,5-3 раза больше атомов фосфора и меняют тип проводимости материала.
Keywords: кремний; фосфор; бор; диффузия; легирование; электрон; дырка