MARGANEC KIRISPE ATOMLARÍNÍŃ KLASTERLERINE IYE KREMNIYDIŃ TIYKARǴÍ PARAMETRLERINE BASÍMNÍŃ TÁSIRIN ÚYRENIW - Tursınbaev, S.A. (НАУКА и ОБЩЕСТВО, 2025)
В данной статье экспериментально исследовано влияние внешнего давления на электрофизические свойства кремния, легированного марганцем. Диффузия атомов марганца проводилась в образцах монокристаллического кремния p-типа. Полученные результаты показали, что наличие кластеров марганца способствует высокой тензочувствительности материала. Данный материал является перспективным для создания высокочувствительных тензодатчиков.