ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ КОНЦЕНТРАЦИИ ГАЛЛИЯ И СУРЬМЫ ЭЛЕМЕНТОВ ЛЕГИРОВАННОГО, ДИФФУЗИОННЫМ СПОСОБОМ В КРЕМНИИ - Исаков, Б.О. (НАУКА и ОБЩЕСТВО, 2022)
В данной работе с помощью программы MathCad теоретически исследована математическая модель распределения концентраций элементов галлия и сурьмы легированных диффузией в кремний. Суть теоретических расчетов и математического моделирования процесса диффузии состоит в том, чтобы не проводить эксперименты впустую, заранее определить глубину проникновения примесных атомов в кремний до осуществления диффузии и спланировать эксперименты и повышение достоверности результатов.