KIRISHMA ATOMLARINI KREMNIYGA ELEKTR MAYDON YORDAMIDA DIFFUZIYA QILISH

Авторы

  • Iliyev X.M.

    Tashkent State Technical University named after Islam Karimov image/svg+xml

  • Isamov S.B.

    Tashkent State Technical University named after Islam Karimov image/svg+xml

  • Xudoynazarov Z.B.

    Tashkent State Technical University named after Islam Karimov image/svg+xml

  • O‘.Xolmonov R.

    Tashkent State Technical University named after Islam Karimov image/svg+xml

  • Isakov B.O.

    Tashkent State Technical University named after Islam Karimov image/svg+xml

Ключевые слова: кремний, электродиффузия, никель, кластеры, положительная и отрицательная полярность

Аннотация

Путём формирования кластеров легирующих атомов никеля в кремнии методом электродиффузии наблюдалась высокая концентрация легирующих атомов в образце, расположенном у отрицательного полюса. Показано, что путем управления электрическим полем, проходящим через образец кремния, можно управлять концентрацией кластеров никеля.

Библиографические ссылки

1. Бахадырханов М.К. Диссертационная работа на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. –Ленинград: 1982. –С. 479.

2. Зикриллаев Н.Ф., Кушиев Ғ.А., Абдурахманов Б.А., Қурбонова Ў.Х., Вахобов Қ.У. “GexSi1-x бирикмалари мавжуд кремний материали олишнинг истиқболлари”. // журнал ДАН РУз, 2022. №5. –С. 21-26.

3. Захаров А.Г., Какурин Ю.Б., Филипенко Н.А. Моделирование процессов массопереноса в неоднородных твердых телах с учётом электродиффузии. // Естественные науки. 2009. № 2. -С. 35-37.

4. Варехов А.Г. Электродиффузия зондирующих ионов к поверхности частиц биоколлоидов. // Научное приборостроение. 2017. Т. 27, № 4. -С. 24–33.

5. Шалимова К.В. Физика полупроводников. –Москва: энергоатомиздат 1985.

6. Болтакс Б.И. Диффузия и точечные дефекты в полупроводниках. -Ленинград: «Наука», 1972.