KREMNIYGA FOSFOR VA BOR ATOMLARINING KETMA-KET DIFFUZIYASI

Авторы

  • G‘.X.Mavlonov

    A.A.Usmonov - tayanch doktorant

  • Isamov S.B.

    A.A.Usmonov - tayanch doktorant

  • Kenjayev Z.T.

    Toshkent davlat texnika universiteti

Ключевые слова: кремний, фосфор, бор, диффузия, легирование, электрон, дырка

Аннотация

В этой работе исследованы и изучены 3 группы образцов диффузии в кремнии, отдельно фосфор и бор, последовательного диффузии фосфора и бора. Целью данного исследования является изучение взаимодействия и распределения фосфора и бора диффузии с кремнием. В результате было обнаружено, что при диффузии бора в кремний с высокой концентрацией фосфора атомы электроактивного бора компенсируются в 2,5-3 раза больше атомов фосфора и меняют тип проводимости материала.

Библиографические ссылки

1. Бахадырханов М. К., Исамов С. Б. Журнал технической физики. 2021, том 91, вып. 11.

2. Bakhadyrkhanov M.K., Ayupov K.S., Mavlyanov G.Kh., Isamov S.B. Semiconductors, 44 (9), 1145 2010.

3. Бахадирханов М.К., Абдурахманов Б.А., Зикриллаев Х.Ф. Приборы. 5 (215), 39 (2018).

4. Bakhadyrhanov M.K., Sodikov U.X., Iliev Kh.M., Tachilin S.A., Tuerdi Wumaier. Materials Physics and Chemistry, 1, 89. 2019.

5. Эмсли Дж. Элементы: Пер. с англ. Мир, -С.256. 1993.

6. Тишковский Е.Г., Ободников В.И., Таскин А.А., Феклистов К.В., Серяпин В.Г. ФТП, 34 (6), 655 2000.