КРЕМНИЙГА ФОСФОР ВА ГАЛЛИЙНИНГ КЕТМА-КЕТ ДИФФУЗИЯСИ НАТИЖАСИДА ГАЛЛИЙ КОНЦЕНТРАЦИЯСИНИНГ ОШИШИ

Авторы

  • Зикриллаев Н.Ф.

    Х.С.Турекеев - таянч докторант

  • Исамов С.Б.

    Nukus State Pedagogical Institute named after Ajiniyaz image/svg+xml

Ключевые слова: Кулоновское взаимодействие, галлий, фосфор, кремний, растворимость, распределение

Аннотация

Наличие высоких концентраций фосфора при диффузии галлия в кремний установило закон значительного увеличения растворимости галлия. Полученные результаты объяснены взаимодействием атомов галлия и фосфора, а резкое изменение распределения обнаружено в результате действия кулоновских сил.

Библиографические ссылки

1. Ludwig G.W., Woodbury H.H., Carlson R.O. Phys J..Chem. Sol., 8. 490 (1959).

2. Kreissl J., Gehlhoff W. Phys. Stat. Sol. (b), 145. 609 (1988).

3. Мильвидский М.Г., Чалдышев В.В. ФТП, 32(5), 513 (1998).

4. Bahadirkhanov M.K., Ismaylov B.K., Ismailov K.A., Zikrillaev N.F., Isamov S.B. International Journal of Advanced Science and Technology, 29 (9), 6308 (2020).

5. Bakhadyrkhanov M.K., Ayupov K.S., Mavlyanov G.Kh., Isamov S.B. Semiconductors, 44(9), 1145 (2010).

6. Бахадирханов М.К., Абдурахманов Б.А., Зикриллаев Х.Ф. Приборы. 5(215), 39 (2018).

7. Bakhadyrkhanov M.K., Iliev Kh.M., Mavlonov G.Kh., Ayupov K.S., Isamov S.B., Tachilin S.A. Technical Physics, 64(3) 385 (2019).

8. Bakhadyrhanov M.K., Sodikov U.X., Iliev Kh.M., Tachilin S.A. Tuerdi Wumaier. Materials Physics and Chemistry, 1, 89 (2019).

9. Гречихин Л.И., Латушкина С.Д, Комаровская В.М., Шмермбекк Ю. Упрочняющие технологии и покрытия. 9, 5 (2015).

10. Bakhadirkhanov M.K., Askarov Sh.I., Norkulov N.. Phys. Stat. Sol. (a) 142, 339 (1994).

11. Conwell. E.M.. Proceedings of the IRE. 46(6), 1281 (1958).

12. Florakis A., Janssens T., Posthuma N., Delmotte J., Douhard B., Poortmans J.and Vandervorst W. Energy Procedia, 38, 263 (2013).

13. García-Tabarés E., Martín D., García I., Rey-Stolle I.. Solar Energy Materials and Solar Cells, 116, 61 (2013).

14. Л.Н. Александров, Т.В. Бондарева, Г.А. Качурин, И.Е. Тысченко. ФТП, 25(2), 227 (1991).

15. Королев Д.С., Михайлов А.Н., Белов А.И., Васильев В.К., Гусейнов Д.В., Окулич Е.В. ФТП, 50(2), 274 (2016).

16. Ahlgren T., Likonen J., Slotte J., Raisanen J., Rajatora M., and Keinonen J. Phys. Rev. B, 56(8), 4597 (1997).

17. Тишковский Е.Г., Ободников В.И., Таскин А.А., Феклистов К.В., Серяпин В.Г. ФТП, 34(6), 655 (2000).

18. Гадияк Г.В. ФТП, 31(4), 385 (1997).