КРЕМНИЙ КРИСТАЛЛ ПАНЖАРАСИДА НИКЕЛЬ КИРИШМА АТОМЛАРИНИНГ ГЕТТЕРЛОВЧИ ХОССАЛАРИ

Авторы

  • Исмайлов К.А.

    Karakalpak State University image/svg+xml

  • Камалов Х.У.

    Karakalpak State University image/svg+xml

  • Исмайлов Б.К.

    Ислом Каримов номидаги Тошкент давлат техника университети

Ключевые слова: геттерланиш, кремний, никель, диффузия, рекомбинация марказлари

Аннотация

В данной статье рассмотрено, что формируя кластеров примесных атомов никеля в кристаллической решетке кремнии, можно реализовать геттерирование различных неконтролирующих примесей, а также атомов кислорода стимулирующих генерацию рекомбинационных центров и термодефектов.

Библиографические ссылки

1. Астащенков А.С., Бринкевич Д.И., Петров В.В. Свойства кремния, легированного примесью никеля методом диффузии. // Доклады БГУИР. 2008, Т. 38. № 8, -С. 37-43.

2. Абдурахманов К.П., Далиев Х.С., Куликов Г.С., Лебедев А.А., Утамарадова Ш.Б., Юсупова Ш.А. Локальные геттерирование железа слоем металла, напыленного на поверхность кремния. // ФТП. 1993, Т. 27. вып 7. с. 1222-1224.

3. Назыров Д.Э. Геттерирование золота самарием и гадолинием в кремнии. // Электронная обработка материалов 2007, №3, -С. 77-82.

4. Амальская Р.М., Баграев Н.Т., Клячкин Л.Е., Суханов В.Л. Геттерирование в кремнии в условиях генерации вакансии. // ФТП. 1992. Т. 26. Вып. 6. -С. 1004-1007.

5. Бохан Ю.И., Каменков В.С., Толочко Н.К. Доминирующие факторы лазерного геттерирования кремниевых пластин. // ФТП. 2015. Т. 49. Вып. 2. -С. 278-282.

6. Куликов А.В., Перевощиков В.А., Скупов В.Д., Шенгуров В.Г. Низкотемпературное радиационно-стимулированное геттерирование примесей и дефектов в кремнии слоями пористого кремния. // Письма ЖТФ. 1997. Т. 23. Вып. 13. -С. 27-31.

7. Перевощиков В.А., Скупов В.Д. Дальнодействующее геттерирование микродефектов в монокристаллахкремния при формировании на их поверхности слоев пористого кремния и ионном облучении // Письма ЖТФ.1999. Т. 25. Вып. 8. -С. 50-54.