Шарибаев, М.Б., and Ш.К. Каландарова. “ИЗМЕНЕНИЕ РЕЛАКСАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ АТОМА ЭРБИЯ”. ILIM hám JÁMIYET, no. 2-1 (March 29, 2025): 46–47. Accessed August 9, 2026. https://journal.ndpi.uz/ss/article/view/2025-2-1-016.