М. Шарибаев and Ш. Каландарова, “ИЗМЕНЕНИЕ РЕЛАКСАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ АТОМА ЭРБИЯ”, SS, no. 2-1, pp. 46–47, Mar. 2025, Accessed: Aug. 08, 2026. Available: https://journal.ndpi.uz/ss/article/view/2025-2-1-016