Шарибаев, М. and Каландарова, Ш. (2025) “ИЗМЕНЕНИЕ РЕЛАКСАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ АТОМА ЭРБИЯ”, ILIM hám JÁMIYET, (2-1), pp. 46–47. Available at: https://journal.ndpi.uz/ss/article/view/2025-2-1-016 (Accessed: 9 August 2026).