ШАРИБАЕВ, М.; КАЛАНДАРОВА, Ш. ИЗМЕНЕНИЕ РЕЛАКСАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ АТОМА ЭРБИЯ. ILIM hám JÁMIYET, n. 2-1, p. 46–47, 29 Mar.2025.