Шарибаев, М., & Каландарова, Ш. (2025). ИЗМЕНЕНИЕ РЕЛАКСАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ АТОМА ЭРБИЯ. ILIM Hám JÁMIYET, 2-1, 46-47. https://journal.ndpi.uz/ss/article/view/2025-2-1-016