Шарибаев, М. and Каландарова, Ш. 2025. ИЗМЕНЕНИЕ РЕЛАКСАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ АТОМА ЭРБИЯ. ILIM hám JÁMIYET. 2-1 (Mar. 2025), 46–47.