Д. Асанов, Tran., “Моделирование и анализ тепловых процессов в кремниевых гетероструктурах при быстрой термической обработке”, SS, no. 1-1, pp. 11–13, Feb. 2026, Accessed: Jul. 14, 2026. [Online]. Available: https://journal.ndpi.uz/ss/article/view/3948