Моделирование и анализ тепловых процессов в кремниевых гетероструктурах при быстрой термической обработке. SCIENCE and SOCIETY, [S. l.], n. 1-1, p. 11–13, 2026. Disponível em: https://journal.ndpi.uz/ss/article/view/3948. Acesso em: 14 jul. 2026.