КРЕМНИЙГА ФОСФОР ВА ГАЛЛИЙНИНГ КЕТМА-КЕТ ДИФФУЗИЯСИ НАТИЖАСИДА ГАЛЛИЙ КОНЦЕНТРАЦИЯСИНИНГ ОШИШИ

Authors

  • Н.Ф. Зикриллаев

    Х.С.Турекеев - таянч докторант

  • С.Б. Исамов

    Nukus State Pedagogical Institute named after Ajiniyaz image/svg+xml

Keywords: Coulomb interaction, gallium, phosphorus, silicon, solubility distribution

Abstract

The presence of high concentrations of phosphorus during the diffusion of gallium into silicon established the law of a significant increase in the solubility of gallium. The results obtained were explained by the interaction of gallium and phosphorus atoms, and a sharp change in the distribution was found as a result of the action of Coulomb forces.

References

1. Ludwig G.W., Woodbury H.H., Carlson R.O. Phys J..Chem. Sol., 8. 490 (1959).

2. Kreissl J., Gehlhoff W. Phys. Stat. Sol. (b), 145. 609 (1988).

3. Мильвидский М.Г., Чалдышев В.В. ФТП, 32(5), 513 (1998).

4. Bahadirkhanov M.K., Ismaylov B.K., Ismailov K.A., Zikrillaev N.F., Isamov S.B. International Journal of Advanced Science and Technology, 29 (9), 6308 (2020).

5. Bakhadyrkhanov M.K., Ayupov K.S., Mavlyanov G.Kh., Isamov S.B. Semiconductors, 44(9), 1145 (2010).

6. Бахадирханов М.К., Абдурахманов Б.А., Зикриллаев Х.Ф. Приборы. 5(215), 39 (2018).

7. Bakhadyrkhanov M.K., Iliev Kh.M., Mavlonov G.Kh., Ayupov K.S., Isamov S.B., Tachilin S.A. Technical Physics, 64(3) 385 (2019).

8. Bakhadyrhanov M.K., Sodikov U.X., Iliev Kh.M., Tachilin S.A. Tuerdi Wumaier. Materials Physics and Chemistry, 1, 89 (2019).

9. Гречихин Л.И., Латушкина С.Д, Комаровская В.М., Шмермбекк Ю. Упрочняющие технологии и покрытия. 9, 5 (2015).

10. Bakhadirkhanov M.K., Askarov Sh.I., Norkulov N.. Phys. Stat. Sol. (a) 142, 339 (1994).

11. Conwell. E.M.. Proceedings of the IRE. 46(6), 1281 (1958).

12. Florakis A., Janssens T., Posthuma N., Delmotte J., Douhard B., Poortmans J.and Vandervorst W. Energy Procedia, 38, 263 (2013).

13. García-Tabarés E., Martín D., García I., Rey-Stolle I.. Solar Energy Materials and Solar Cells, 116, 61 (2013).

14. Л.Н. Александров, Т.В. Бондарева, Г.А. Качурин, И.Е. Тысченко. ФТП, 25(2), 227 (1991).

15. Королев Д.С., Михайлов А.Н., Белов А.И., Васильев В.К., Гусейнов Д.В., Окулич Е.В. ФТП, 50(2), 274 (2016).

16. Ahlgren T., Likonen J., Slotte J., Raisanen J., Rajatora M., and Keinonen J. Phys. Rev. B, 56(8), 4597 (1997).

17. Тишковский Е.Г., Ободников В.И., Таскин А.А., Феклистов К.В., Серяпин В.Г. ФТП, 34(6), 655 (2000).

18. Гадияк Г.В. ФТП, 31(4), 385 (1997).